Параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS
Подробнее
Описание
До 2 раз быстрее измеряет основные параметры исследуемого устройства
Прибор 4200A-SCS — это модульный, конфигурируемый в соответствии с задачами заказчика параметрический анализатор, обеспечивающий измерение вольтамперных, фольтфарадных характеристик и ВАХ в импульсном режиме. Дополнительный модуль коммутатора 4200A-CVIV позволяет легко переключать режимы измерения ВАХ/ВФХ без переключения кабелей или перестановки щупов зондовой станции при тестировании кремниевых пластин. Анализатор высочайшей производительности 4200A-SCS ускоряет проведение испытаний сложных устройств для исследования материалов, разработки полупроводниковых устройств, подготовки технологических процессов или производства.
Прибор 4200A-SCS — это модульный, конфигурируемый в соответствии с задачами заказчика параметрический анализатор, обеспечивающий измерение вольтамперных, фольтфарадных характеристик и ВАХ в импульсном режиме. Дополнительный модуль коммутатора 4200A-CVIV позволяет легко переключать режимы измерения ВАХ/ВФХ без переключения кабелей или перестановки щупов зондовой станции при тестировании кремниевых пластин. Анализатор высочайшей производительности 4200A-SCS ускоряет проведение испытаний сложных устройств для исследования материалов, разработки полупроводниковых устройств, подготовки технологических процессов или производства.
Характеристики
| Model | Description | Key Measurements | Range | Measure Resolution |
| 4200-SMU | Medium Power Source-Measure Unit |
• DC I-V • Very Low Frequency C-V • QSCV |
±100 mA, ±210 V |
0.2 µV, 100 fA |
| 4201-SMU | Medium Power SMU with increased low I stability | |||
| 4210-SMU | High Power Source-Measure Unit |
±1 A, ±210 V |
||
| 4211-SMU | High Power SMU with increased low I stability | |||
| 4200-PA | Remote Preamplifier Module | Extends current ranges for all SMUs | 0.2 µV, 10 aA | |
|
4210-CVU |
Capacitance-Voltage Unit |
• AC Impedance • C-V, C-f, C-t |
• 1 kHz – 10 MHz • ±30 V built-in DC bias (60 V differential) • ±210 V DC bias with SMUs • 100 mV AC drive |
1 aF, 1 nS, 0.001 degree |
| 4215-CVU | High Resolution Capacitance-Voltage Unit |
• AC Impedance • C-V, C-f, C-t |
• 1 kHz – 10 MHz • ±30 V built in DC bias (60 V differential) • ±210 V DC bias with SMUs • 1 V AC drive |
1 kHz 1 aF, 1 nS, 0.001 degree |
| 4200A-CVIV | I-V/C-V Multi-Switch Module | DC I-V and C-V with Automatic Switching | — | — |
|
4225-PMU |
Ultra-Fast Pulse Measure Unit |
• Pulsed I-V • SegmentARB® Multi-level Pulsing • Transient Waveform Capture |
• ±40 V (80 Vp-p), ±800 mA • 200 MS/s simultaneous I and V measure • 2048 unique segments • 20 ns PW source only • 60 ns PW source/measure |
75 nA |
| 4225-RPM | Remote Preamplifier/ Switch Module | • Enables automatic switching between SMU, CVU and PMU | Extends current range of 4225-PMU unit | 200 pA |
| 4220-PGU | High Voltage Pulse Generator Unit |
• Pulsed Voltage Source • SegmentARB® Multi-level Pulsing |
• ±40 V (80 Vp-p) • 2048 unique segments |
— |
| Ground Unit | Built-in, Low Noise Ground Unit | — |
• Triaxial connection: 2.6 A • Binding post: 9.5 A |
— |
Документы
Описание
Модели
| Модель | Описание |
|
4200A-SCS-PKA |
ВАХ с высоким разрешением 4200A-SCS: параметрический анализатор (основной блок) 4201-SMU: два источника-измерителя (SMU) средней мощности для тестирования устройств с большими ёмкостями 4200-PA: предусилитель 8101-PIV: тестовая оснастка с типовыми устройствами |
|
4200A-SCS-PKB |
ВАХ и ВФХ с высоким разрешением 4200A-SCS: параметрический анализатор (основной блок) 4201-SMU: два источника-измерителя (SMU) средней мощности для тестирования устройств с большими ёмкостями 4200-PA: предусилитель 4215-CVU: многочастотный модуль для измерения ВФХ с высоким разрешением 8101-PIV: тестовая оснастка с типовыми устройствами |
|
4200A-SCS-PKC |
ВАХ и ВФХ мощных устройств 4200A-SCS: параметрический анализатор (основной блок) 4201-SMU: два источника-измерителя (SMU) средней мощности для тестирования устройств с большими ёмкостями 4211-SMU: два источника-измерителя (SMU) высокой мощности для тестирования устройств с большими ёмкостями 4200-PA: два предусилителя 4215-CVU: многочастотный модуль для измерения ВФХ с высоким разрешением 8101-PIV: тестовая оснастка с типовыми устройствами |
| 4200-BTI-A |
Сверхбыстрый измеритель темп. нестабильности при отриц./положит. смещ. Для сложных измерений температурной нестабильности при отрицательном и положительном смещении кремниевых КМОП приборов, созданных с применением самых современных технологий В комплект поставки 4200-BTI-A входят:
|
| Модуль | Описание |
| 4200-SMU | Источник-измеритель средней мощности |
| 4200-BTI-A | Комплект для сверхбыстрого тестирования температурной нестабильности при смещении (bti) |
| 4200-PA | Модуль дистанционного предусилителя |
| 4200A-CVIV | Коммутационный блок вах/вфх (cviv) |
| 4201-SMU | Medium power source-measure unit |
| 4210-CVU | Модуль для измерения вольт-фарадных характеристик |
| 4210-SMU | Источник-измеритель высокой мощности |
| 4211-SMU | High power source-measure unit |
| 4215-CVU | Модуль для измерения вольт-фарадных характеристик |
| 4220-PGU | Модуль генератора высоковольтных импульсов |
| 4225-PMU | Модуль сверхбыстрого измерения вах в импульсном режиме |
| 4225-RPM | Модуль дистанционного предусилителя/переключателя |
